科研公共服务条件平台X射线光电子能谱仪，已经安装调试完毕，即日起对校内开放试运行，欢迎校内师生预约测试！

一、基本参数

型号：ESCALAB Xi⁺

厂家：赛默飞世尔科技(Thermo Fisher Scientific)

单色Al Ka大面积XPS

能量分辨率(eV) 灵敏度(cps)

≤0.5 600000

≤0.6 1500000

≤1.0 3500000

最佳空间分辨率优于20 um

成像XPS空间分辨率优于3 um

双阳极Mg Ka XPS

能量分辨率(eV) 灵敏度(cps)

≤0.8 650000

≤1.0 7000000

≤1.35 13000000

紫外光电子能谱(UPS)

费米边分辨率：100 meV 灵敏度：1000000 cps

二、应用领域

XPS是一种应用广泛的表面分析方法，可对周期表中除H、He外的所有元素进行定性、定量和价态分析；结合离子刻蚀可进行片状或薄膜材料的深度分析；UPS可分析导电样品的价带结构，进行功函数的测量等。仪器由具备单色化XPS、平行成像XPS、离子散射谱ISS、反射电子能量损失谱REELS、紫外光电子谱UPS、ARXPS分析的主机和真空镀膜腔室、光催化反应室、惰性气体传输及真空互联系统等组成。电子能谱在纳米材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、各类功能薄膜的机理研究、催化剂研究与失效等方面具有不可替代的作用，在化学、化工、物理、新材料、电子工业、能源、冶金、生物医学和环境科学中应用广泛。

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